与国际高水平学者共建研究生课程——《激光测量与探测技术》授课通知

发布时间:2022-05-04浏览次数:13来源:研究生院

国际顶级激光干涉测量专家、国际顶级学会CIRP期刊Journal of manufacturing science and Technology和著名SCI期刊Precision Engineering副主编、比利时KU Leuven鲁汶大学Han Haitjema教授将于202255日至526日,在线讲授与国际高水平学者共建研究生课程”——《激光测量与探测技术》(课程编号:IS64011)。真诚欢迎老师和同学来体验世界一流大学的授课方式,并与名师线上交流。


课程简介:

纳米计量学考虑的是特征尺寸或者基础特性小于100nm的测量和校准过程,在这些测量中不确定度往往仅为nm量级,其研究对于过去及将来人类探索与改造微观世界具有重大意义。特别是在集成电路设计与制造领域,从最初90nm32纳米再到当前的5nm芯片加工制造,完全依赖于纳米计量学的研究成果才得以实现。为实现如此高精度的测量和校准,激光干涉测量技术被深入研究并广泛使用。本课程将着重介绍基于激光干涉的位移和表面测量基本原理,最新的白光干涉技术及其评估方法也将被细致讨论。更为重要的是,课程将介绍目前世界领先的前沿激光干涉测量系统,以此加深同学们对该类先进技术的认识。


授课时间:

授课日期:55日(周四)、12日(周四)、19日(周四)、26日(周四)1900-2100(北京时间)

授课方式:腾讯会议

系统完成选课的学生,请查询个人课表,点击课程交流码查询会议信息。

主持:胡鹏程

Han Haitjema教授简介:

Han Haitjema教授长期从事超精密激光干涉测量与校准技术研究,曾任日本三丰Mitutoyo公司欧洲研究中心主任,与国际顶级半导体装备供应商合作紧密,任荷兰认可理事会RVA尺寸计量委员会主席、欧洲认证组织首席专家等重要职务,负责欧洲、日本和韩国的计量实验室认证,在国际顶级期刊发表学术论文90余篇。