国际顶级激光干涉测量专家、国际顶级学会CIRP期刊Journal of manufacturing science and Technology和著名SCI期刊Precision Engineering副主编、比利时KU Leuven鲁汶大学Han Haitjema教授将于2022年5月5日至5月26日，在线讲授“与国际高水平学者共建研究生课程”——《激光测量与探测技术》（课程编号：IS64011）。真诚欢迎老师和同学来体验世界一流大学的授课方式，并与名师线上交流。
课程简介：
纳米计量学考虑的是特征尺寸或者基础特性小于100nm的测量和校准过程，在这些测量中不确定度往往仅为nm量级，其研究对于过去及将来人类探索与改造微观世界具有重大意义。特别是在集成电路设计与制造领域，从最初90nm到32纳米再到当前的5nm芯片加工制造，完全依赖于纳米计量学的研究成果才得以实现。为实现如此高精度的测量和校准，激光干涉测量技术被深入研究并广泛使用。本课程将着重介绍基于激光干涉的位移和表面测量基本原理，最新的白光干涉技术及其评估方法也将被细致讨论。更为重要的是，课程将介绍目前世界领先的前沿激光干涉测量系统，以此加深同学们对该类先进技术的认识。
授课时间：
授课日期：5月5日（周四）、12日（周四）、19日（周四）、26日（周四）19：00-21：00（北京时间）
授课方式：腾讯会议
系统完成选课的学生，请查询个人课表，点击“课程交流码”查询会议信息。
主持：胡鹏程
Han Haitjema教授简介：
Han Haitjema教授长期从事超精密激光干涉测量与校准技术研究，曾任日本三丰Mitutoyo公司欧洲研究中心主任，与国际顶级半导体装备供应商合作紧密，任荷兰认可理事会RVA尺寸计量委员会主席、欧洲认证组织首席专家等重要职务，负责欧洲、日本和韩国的计量实验室认证，在国际顶级期刊发表学术论文90余篇。