比利时鲁汶大学（KU Leuven）Han Haitjema教授，将于2024年8月5日至7日来我校，讲授“与国际高水平学者共建研究生课程”——《激光测量与探测技术》（课程编号：IS64011）。真诚欢迎老师和同学前来体验世界一流大学的授课方式，并与名师现场交流。
课程简介：
激光测量与探测技术可实现特征尺寸小于100nm的测量和校准，在这些测量中不确定度往往仅为nm量级，其研究对于过去及将来人类探索与改造微观世界具有重大意义。特别是在集成电路设计与制造领域，从最初90nm到32纳米再到当前的5nm芯片加工制造，完全依赖于纳米计量学的研究成果才得以实现。为实现如此高精度的测量和校准，激光干涉测量技术被深入研究并广泛使用。本课程将着重介绍基于激光干涉的位移和表面测量基本原理，最新的白光干涉技术及其评估方法也将被细致讨论。更为重要的是，课程将介绍目前世界领先的前沿激光干涉测量系统，以此加深同学们对该类先进技术的认识。
授课时间及地点：
2024年8月5日、6日，9：00-17：00
哈尔滨工业大学科学园D栋412会议室
主持：胡鹏程
Han Haitjema教授简介：
Haitjema教授于1989年在德国代尔夫特理工大学获得博士学位，其研究方向为应用物理学。他曾任日本三丰Mitutoyo公司欧洲研究中心主任，与国际顶级半导体装备供应商合作紧密，并兼任荷兰认证理事会RVA尺寸计量委员会主席、欧洲认证组织首席专家等重要职务，负责欧洲、日本和韩国的计量实验室认证。目前，他在比利时鲁汶大学担任教授。他长期从事超精密激光干涉测量与校准测试技术研究，在国际顶级期刊发表学术论文90余篇。